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耐腐蝕質量流量控制器

更新時間:2023-01-05

簡要描述:

美國MCS耐腐蝕質量流量控制器采用全316L不銹鋼結構及密封的316L不銹鋼傳感器,可根據不同應用需求選擇相應的彈性密封材料, 如:FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的層流壓差技術能以 驚人的速度測量氣體質量流量,且具備一系列標準性能,如:200:1量程可調比、內置30種氣體可選、多功能數字顯示屏及有條件的終身質保等。

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一、耐腐蝕質量流量控制器產品優勢

操作簡單

Alicat 質量流量計&質量流量控制器操作極其簡單,用戶可通過多功能數字顯示屏調節參數,無需連接電腦或其它任何復雜的編程軟件。

精確控制

Alicat 標準型質量流量計&質量流量控制器的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.),幾乎所有型號通過增加高精選配項可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性價比

Alicat 質量流量計&質量流量控制器本身耗電極小,從而降低了系統運營的成本,且相比于同類產品,其壓損較低,降低壓損意味著更多氣體進入到系統中,而不是停留在測量&控制設備中。除質量流量外,Alicat 質量流量計&質量流量控制器還可同時測量體積流量、壓力和溫度,您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量,是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。

性能

MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器可測量與控制從0.5SCCM3000SLPM的滿量程的任何流量,除了RS-232數字信號輸出,還配有多種模擬信號輸出。MS系列質量流量計亦有便攜式型號(MBS系列),采用一塊普通9伏電池供電,即成為一款適用于腐蝕性氣體的二等標準流量校準設備。

反應靈敏

與相應標準型M/MC系列相同,MS/MCS系列質量流量計&質量流量控制器(防腐蝕型)其測量響應小于10毫秒、控制響應為100毫秒。

高重復性

Alicat 的技術使得質量流量計&質量流量控制器幾乎沒有可移動部件,所有零件都被內置固定,腔體內不存在物理變化,從而具有較高的*性和重復性。所有Alicat 質量流量計&質量流量控制器的重復性可達±0.2% F.S。

值得信賴

現有超過90000Alicat設備正被使用在不同領域中,質量流量控制器主要應用于醫藥、半導體、燃料電池、如:科學研究、泄漏測試、環境監測、 真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量&控制等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。

二、耐腐蝕質量流量控制器標準性能

  • 多功能數字顯示屏
  • 顯示多種測量參數:質量流量、體積流量、溫度和壓力
  • 低壓損
  • 無需預熱
  • 316L不銹鋼本體&傳感器
  • FFKM、Viton、BunaEPDM密封材料可選
  • 可調節PID算法 (僅用于質量流量控制器)
  • 內置130種常用氣體可選 ,開放COMPOSER? — 氣體編輯器,允許用戶自定義混合氣體組分
  • 200:1 量程可調比

三、性能參數

指標

ALICAT耐腐蝕氣體質量流量控制器

量程

0.5SCCM,1SCCM,2SCCM,5SCCM,10SCCM,50SCCM,100SCCM....1500SLPM,2000SLPM,3000SLPM

精度

±0.8%讀數±0.2%滿量程(可選高精度:±0.4%讀數±0.2%滿量程)

重復性

±0.2%

量程比

200:1

響應時間

100ms

標準狀態(STP)

25℃&14.696PSIA (101.325kPa)

溫度范圍

-10~50

零點漂移

0.02

量程漂移

0.02

濕度范圍

0-100%

測量流量范圍

128%(過流率)

大耐壓

145psi

輸出信號(數字)

質量流量、體積流量、壓力和溫度

數字信號可選

RS485,Modbus,Profibus

輸出信號(模擬)

質量流量、體積流量、壓力和溫度

模擬信號可選

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC,4-20mA

電氣連接

8針/9針/15針(根據不同類型流量計而定)

供電電壓

7-30VDC(4-20mA輸出時為:15-30VDC)

供電電流

0.035A(4-20mA輸出時為:0.055A)


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