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Hammer質量流量計

簡要描述:

國產質量流量計耐壓100bar(產品在50MPa壓力下通過打壓測試),可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。Z大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的Z大流量可測到100SLPM。

更新時間:2024-04-07

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一、Hammer質量流量計產品特點

· 測量質量流量

· 無需溫度和壓力補償

· 結構緊湊

· 精度高

· 工作壓力高

· 響應時間快

· 重復性高

二、Hammer質量流量計產品簡介

本體耐壓100bar,可測量腐蝕性氣體,結構緊湊,重復性高,響應時間快,性價比高,可廣泛用于設備配套。氣體大流量可測到100SLPM,質量流量控制器的大流量可測到100SLPM。

三、Hammer質量流量計技術參數

型號

質量流量計/質量流量控制器

流量范圍(N2)

 10SCCM~100SLPM

響應時間

 <2 sec

精準度

≤±1% FS

重復精度

±0.2% FS

輸入/輸出信號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

耐壓

 <100bar

工作環境溫度

 0~50 °C

漏率

 1*10E-9 atm cc/sec

使用范圍

 2 ~ 100%



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